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Les propriétés structurales, optiques et électriques des couches minces de ZnO:Al élaborées par spray ultrasonique

Les couches de ZnO ont été déposées par la technique spray ultrasonique sur des substrats en verre chauffés à la température fixe 350 °C,
en utilisant l’acétate de zinc avec une molarité de 0.1mol/l. Notre intérêt porte sur l’étude de l’influence du dopage sur les propriétés
structurales, optiques et électriques de ces couches. Pour cela, nous avons utilisé la diffraction des rayons X pour les caractérisations
structurales, la spectroscopie de transmission optique UV–Visible pour les caractérisations optiques et la technique de deux pointes pour les
caractéristiques électriques de nos films. L’analyse structurale a montré que les films déposés ont une orientation préférentielle selon la
direction (002). Les spectres de transmission UV- Visible confirment qu’il est possible d’obtenir de bons films transparents de ZnO avec
une transmittance de 70 à 85% dans le visible. La caractérisation électrique, réalisée à l’aide de la technique de deux pointes, a donné une
conductivité électrique maximale de 0.27 (-cm)-1 obtenue pour le film dopé à 8 % Al.


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